手机版 |
产品分类 |
其他
多功能高分辨率磁光克尔显微成像系统
聚合物薄膜厚度方向热电性能评价系统ZEM-d
台式精准气氛\压力控制高温退火系统—ANNEAL
超导带材临界电流测量系统
脉冲强磁场、软磁、硬磁材料测量
脉冲磁场专用临界电流测量系统
磁化夹具
软磁材料测量系统
硬磁材料测量系统
石墨烯/二维材料电学性质非接触快速测量系统
光学仪器及设备
高光谱工业在线分选系统-SpecimONE
极速多角度3D光片荧光显微镜
基于NV色心的超分辨量子磁学显微镜
低电压台式透射电子显微镜-LVEM5(生物领域)
极低温mK级纳米精度位移台
Excillum液态金属靶X射线源
TILT光片照明模块
SPECIM FX50中波红外高光谱相机
芬兰SPECIM高光谱相机系列
手持智能型高光谱相机SPECIM IQ
磁学测量仪器
MPMS和PPMS专用高压腔
振动样品磁强计-VSM
SuperME多铁材料磁电测量系统
多功能振动样品磁强计VersaLab系统
完全无液氦综合物性测量系统PPMS DynaCool
磁学测量系统-MPMS3
MPMS磁学测量系统
PPMS综合物性测量系统
恒温/加热/干燥设备
新一代高性能激光浮区法单晶炉
高温高压光学浮区炉
新型SPS技术-直流型等离子烧结(DCS)
美国Thermal Technology实验室真空高温炉
美国Thermal Technology电弧熔炼炉
美国Thermal Technology热压炉
活塞-圆筒高温高压装置
光谱检测分析仪
纳米空间分辨超快光谱和成像系统
非接触式亚微米分辨红外拉曼同步测量系统
超精细低温显微拉曼系统
微秒级时间分辨超灵敏红外光谱仪
芬兰SPECIM艺术品高光谱成像系统
德国Neaspec纳米傅里叶红外光谱仪
高速高分辨率成像激光拉曼显微镜
制冷设备
低震动无液氦磁体与恒温器-attoDRY
超精细多功能无液氦低温光学恒温器XP系列
超精准全开放强磁场低温光学研究平台
美国HPD绝热去磁恒温器
超精细多功能无液氦低温光学恒温器
脉冲强磁场低温实验平台
制样/消解设备
多功能高级磁控溅射喷金仪—nanoEM
台式超精准二维材料等离子软刻蚀系统—nanoETCH
原位细胞3D切割成像平台
3D纳米结构高速直写机
双光子3D组织切割成像系统
合成/反应设备
高压氧气氛退火炉
四电弧高温单晶生长炉
激光加热基座晶体生长炉
纳米胶体/颗粒制备仪
微波等离子化学气相沉积系统
比表面积测定仪
低温强磁场光探测磁共振成像系统attoCSFM
PPMS-AFM/MFM/SHPM系统
低温强磁场原子力/磁力/扫描霍尔显微镜
PAN式低温扫描探针显微镜
热分析仪
纳米薄膜热导率测试系统
激光闪光法热常数测量系统
TEGeta多功能热电材料测量系统
磁热疗效应分析仪
X射线仪器
easyXAFS-台式X射线吸收精细结构谱仪
小而轻的便携式X射线残余应力分析仪-μ-X360s
分子生物学仪器
全自动外泌体荧光检测分析系统
Lumicks高通量分子操控分析仪(声镊)-AFS
测量/计量仪器
皮米精度激光干涉仪-IDS3010
皮米精度位移激光干涉器
生物工程设备
大视野单分子超分辨模块-SAFe 180
3D单分子荧光成像系统
半导体行业专用仪器
小型台式无掩模光刻系统
波谱仪器
科研用小型无液氦核磁共振波谱仪-NMR
成像系统
小动物自由基成像系统
质谱检测分析仪
高分辨质子传递反应质谱-BTrap
临床检验仪器设备
ADS磁性免疫层析分析系统
相关仪表
美国RHK扫描探针控制单元R9 Plus
联系方式 |
产品系列
台式三维原子层沉积系统ALD
原子层沉积(Atomic layer deposition, ALD)是通过将气相前驱体脉冲交替的通入反应器,化学吸附在沉积衬底上并反应形成沉积膜的一种方法,是一种可以将物质以单原子膜形式逐层的镀在衬底表面的方法。因此,它是一种真正的纳米技术,以精确控制方式实现纳米级的超薄薄膜沉积。由于ALD利用的是饱和化学吸附的特性,因此可以确保对大面积、多空、管状、粉末或其他复杂形状基体的高保形的均匀沉积。
美国ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列台式 ALD系统,在小巧的机身(78 x56 x28 cm)中集成了原子层沉积所需的所有功能,可*多容纳9片8英寸基片同时沉积。GEMStar XT全系配备热壁,结合前驱体瓶加热,管路加热,横向喷头等设计, 使温度均匀性高达99.9%,气流对温度影响减少到0.03%以下。高温度稳定度的设计不仅实现在 8英寸基体上膜厚的不均匀性小于1%,而且更适合对超高长径比的孔径结构等3D结构实现均匀薄膜覆盖,可实现对高达1500:1长径比微纳深孔内部的均匀沉积。 |
GEMStar XT 产品特点: ■ 300℃ 铝合金热壁,对流式温度控制 ■ 175℃ 温控150ml前驱体瓶,200℃ 控输运支管 ■ 可容纳多片4,6,8英寸样品同时沉积 ■ 可容纳1.25英寸/32mm厚度的基体 ■ 标准CF-40接口 ■ 可安装原位测量或粉末沉积模块等选件 ■ 等离子体辅助ALD插件 ■ 多种配件可供选择 | GEMStar XT 产品型号: GEMStar -4 XT: ■ **4英寸/100 mm基片沉积 ■ 单路前驱体输运支管, 4路前驱体瓶接口 ■ 不可升级为等离子体增强ALD GEMStar -6/8 XT: ■ **6英寸(150mm)/8英寸(200mm)基片沉积 ■ 双路前驱体输运支管, 8路前驱体瓶和CF-40接口 ■ 可升级为等离子体增强ALD |
GEMStar -8 XT-P: ■ **8英寸/200mm基片沉积 ■ 双路前驱体输运支管, 8路前驱体瓶和CF-40接口 ■ 装备高性能ICP等离子发生器 13.56 MHz 的等离子源非常紧凑,只需风冷,**运行功率达300W。 ■ 标配3组气流质量控制计(MFC)控制的等离子气源线,和一条MFC控制的运载气体线,使难以沉积的氧化物、氮化物、金属也可以实现均匀沉积。 | |
GEMStar NanoCUBE: * **100 mm 立方体样品 沉积 * 单路前驱体输运支管, 2路前驱体瓶接口 * 主要用于3D多孔材料,以及厚样品的沉积 |
丰富配件:
多样品托盘: * 多样品夹具,样品尺寸(8", 6", 4")向下兼容。 * 多基片夹具,*多同时容纳9片基片。 | 温控热托盘: * 可加热样品托盘,**温度500℃,可实现热盘-热壁复合加热方式。 | ||
粉末沉积盘: | 臭氧发生器: | ||
真空进样器(Load Lock) | 晶振测厚仪 | ||
前驱体瓶: | 前驱体加热套: | ||
粉末旋转沉积罐模块: 配合热壁加热方式,进一步实现对微纳粉末样品全保型薄膜均匀沉积包覆。 | |||
手套箱接口: 可从侧面或背面**接入手套箱,与从底部接入手套箱不同,不占用手套箱空间。由于主机在手套箱侧面,反应过程中不对手套箱有加热效应,不影响手套箱内温度。 | |||
应用案例
应用领域
国内外用户
已发表文献
1、LoïcAssaud et al. Systematic increase of electrocatalytic turnover over nanoporousPt surfaces Prepared by atomic layer deposition. J. Mater. Chem. A (2015) DOI: 10.1039/c5ta00205b
2、XiangyiLuo et al. Pd nanoparticles on ZnO-passivated porous carbon by atomic layer deposition: an effective electrochemical catalyst for Li-O2 battery. Nanotechnology(2015) 26, 164003. DOI:10.1088/0957-4484/26/16/164003
3、HengweiWang, et al. Precisely-controlled synthesis of Au@Pd core–shell bimetallic catalyst via atomic layer deposition for selective oxidation of benzyl alcohol. Journal of Catalysis (2015) 324, 59–68. DOI: 10.1016/j.jcat.2015.01.019
4、 Sean W. Smith, et al. Improved oxidation resistance of organic/inorganic composite atomic layer deposition coated cellulose nanocrystal aerogels. J. Vac. Sci. Technol. A (2014) 4, 32 DOI: 10.1116/1.4882239
5、Fatemeh Sadat MinayeHashemi et al. A New Resist for Area Selective Atomic and Molecular Layer Deposition on Metal−Dielectric Patterns. J. Phys. Chem. C (2014), 118, 10957−10962. DOI: 10.1021/jp502669f
6、Jeffrey B. Chou, et.al Enabling Ideal Selective Solar Absorption with 2D Metallic Dielectric Photonic Crystals. Adv. Mater. (2014), DOI: 10.1002/adma.201403302.
7、 Jin Xie, et al. Site-Selective Deposition of Twinned Platinum Nanoparticles on TiSi2 Nanonets by Atomic Layer Deposition and Their Oxygen Reduction Activities. ACS Nano (2013), 7, 6337–6345. DOI: 10.1021/nn402385f
8、Pengcheng Dai, et al. Solar Hydrogen Generation by Silicon Nanowires Modified with Platinum Nanoparticle Catalysts by Atomic Layer Deposition. Angew. Chem. Int. Ed. (2013), 52, 1 –6. DOI: 10.1002/anie.201303813
9、Joseph Larkin et al. Slow DNA Transport through Nanoporesin Hafnium Oxide Membranes. ACS Nano(2013), 11, 10121–10128. DOI: 10.1021/nn404326f
10、Thomas M et al. Extended lifetime MCP-PMTs: Characterization and lifetime measurements of ALD coated microchannel plates, in a sealed photomultiplier tube Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A (2013) 732, 388–391. DOI: 10.1016/j.nima.2013.07.023
11、Kevin J. Maloney et al. Microlattices as architected thin films: Analysis of mechanical properties and high strain elastic recovery. APL Mater. 1, 022106 (2013) DOI: 10.1063/1.4818168
12、 Sean W. Smith et al. Improved Temperature Stability of Atomic Layer Deposition Coated Cellulose Nanocrystal Aerogels. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. (2012) DOI: 10.1557/opl.2012.