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聚合物薄膜厚度方向热电性能评价系统ZEM-d
台式精准气氛\压力控制高温退火系统—ANNEAL
超导带材临界电流测量系统
脉冲强磁场、软磁、硬磁材料测量
脉冲磁场专用临界电流测量系统
磁化夹具
软磁材料测量系统
硬磁材料测量系统
石墨烯/二维材料电学性质非接触快速测量系统
光学仪器及设备
高光谱工业在线分选系统-SpecimONE
极速多角度3D光片荧光显微镜
基于NV色心的超分辨量子磁学显微镜
低电压台式透射电子显微镜-LVEM5(生物领域)
极低温mK级纳米精度位移台
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TILT光片照明模块
SPECIM FX50中波红外高光谱相机
芬兰SPECIM高光谱相机系列
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磁学测量系统-MPMS3
MPMS磁学测量系统
PPMS综合物性测量系统
恒温/加热/干燥设备
新一代高性能激光浮区法单晶炉
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新型SPS技术-直流型等离子烧结(DCS)
美国Thermal Technology实验室真空高温炉
美国Thermal Technology电弧熔炼炉
美国Thermal Technology热压炉
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光谱检测分析仪
纳米空间分辨超快光谱和成像系统
非接触式亚微米分辨红外拉曼同步测量系统
超精细低温显微拉曼系统
微秒级时间分辨超灵敏红外光谱仪
芬兰SPECIM艺术品高光谱成像系统
德国Neaspec纳米傅里叶红外光谱仪
高速高分辨率成像激光拉曼显微镜
制冷设备
低震动无液氦磁体与恒温器-attoDRY
超精细多功能无液氦低温光学恒温器XP系列
超精准全开放强磁场低温光学研究平台
美国HPD绝热去磁恒温器
超精细多功能无液氦低温光学恒温器
脉冲强磁场低温实验平台
合成/反应设备
高压氧气氛退火炉
四电弧高温单晶生长炉
激光加热基座晶体生长炉
纳米胶体/颗粒制备仪
微波等离子化学气相沉积系统
制样/消解设备
多功能高级磁控溅射喷金仪—nanoEM
台式超精准二维材料等离子软刻蚀系统—nanoETCH
原位细胞3D切割成像平台
3D纳米结构高速直写机
双光子3D组织切割成像系统
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低温强磁场光探测磁共振成像系统attoCSFM
PPMS-AFM/MFM/SHPM系统
低温强磁场原子力/磁力/扫描霍尔显微镜
PAN式低温扫描探针显微镜
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纳米薄膜热导率测试系统
激光闪光法热常数测量系统
TEGeta多功能热电材料测量系统
磁热疗效应分析仪
X射线仪器
easyXAFS-台式X射线吸收精细结构谱仪
小而轻的便携式X射线残余应力分析仪-μ-X360s
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全自动外泌体荧光检测分析系统
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皮米精度激光干涉仪-IDS3010
皮米精度位移激光干涉器
生物工程设备
大视野单分子超分辨模块-SAFe 180
3D单分子荧光成像系统
半导体行业专用仪器
小型台式无掩模光刻系统
波谱仪器
科研用小型无液氦核磁共振波谱仪-NMR
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小动物自由基成像系统
质谱检测分析仪
高分辨质子传递反应质谱-BTrap
临床检验仪器设备
ADS磁性免疫层析分析系统
相关仪表
美国RHK扫描探针控制单元R9 Plus
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产品系列
脉冲激光沉积、分子束外延薄膜制备系统 |
美国BlueWave公司是半导体设备、材料生产商。BlueWave提供多种薄膜制备系统,包括脉冲激光沉积(PLD)、电子束蒸发、热蒸发、反应溅射、热丝化学气相沉积(HFCVD)、热化学气相沉积系统(TCVD)。这些系统是*理想的薄膜与涂层合成设备。可制备的薄膜包括氮化物、氧化物、多层膜、钻石、石墨烯、碳纳米管、2D材料。Blue Wave还提供相关系统配件,例如基片加热装置、原位监测工具。此外,BlueWave还为您提供标准的薄膜以及材料涂层,例如氧化物涂层、导电薄膜、无定型或纳米晶Si/SiC、晶体AlN-GaN、聚合物、纳米钻石、HFCVD钻石涂层以及器件加工。
1、脉冲激光沉积系统
产品特点:
◆ 电抛光多空不锈钢超高真空腔体 ◆ 可集成热蒸发源或溅射源 ◆ 可旋转的耐氧化基片加热台 | ◆ 流量计或针阀精确控制气体流量 ◆ 标准真空计 ◆ 干泵与涡轮真空泵 ◆ 可选配不锈钢快速进样室 | ◆ 可选配基片-靶材距离自动控制系统 ◆ 可制备:金属氧化物、氮化物、碳化物、金属纳米薄膜、多层膜、超晶格等。 |
2、物理气相沉积系统(Physical Vapor Deposition Plus)
产品特点◆ 超高真空不锈钢腔体 ◆ 电子束、热蒸发、脉冲激光沉积可集成 ◆ 独立衬底加热,可旋转 ◆ 多量程气体流量控制器 ◆ 标准气压计 | ◆ 机械、分子、冷凝真空泵 可选不锈钢快速进样室 ◆ 衬底和源距离可控 ◆ 可用于金属氧化物、氮化物、碳化物、金属薄膜 |
3、热化学气相沉积系统(TCVD)
产品特点 ◆ 高温石英管反应器设计 ◆ 温度范围:室温到1100℃ ◆ 多路气体精确控制 ◆ 标准气压计 ◆ 易于操作 | ◆ 可配机械泵实现低压TCVD ◆ 可用于制备金属氧化物、氮化物、碳化物、金属薄膜 ◆ 液体前驱体喷头 ◆ 2英寸超大**温度均匀区 |
4、热丝化学气相沉积系统(HFCVD)
产品特点: ◆ 水冷不锈钢超高真空腔 ◆ 热丝易安装、更换 ◆ 4个不同量程气体控制器 ◆ 标准气压计 ◆ 衬底与热丝距离可调节 ◆ 2英寸衬底加热、可旋转 ◆ **制备金刚石和石墨烯 |